日前，沈陽新松機器人自動化股份有限公司承擔的“300mmIC生產線自動物料搬運系統研發與應用”項目在沈陽通過了國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”(02專項)實施管理辦公室組織的驗收。

該項目由新松公司聯合中科院沈陽自動化所、上海集成電路研發中心有限公司等實力雄厚的研究院所、企業進行技術攻關，完成了物料控制系統軟件、潔凈天車、天井式搬運車、潔凈立庫、潔凈有軌制導車輛及外接晶片裝載設備等核心設備的開發，并在上海集成電路研發中心有限公司完成了自動物料搬運系統的示范應用，實現了潔凈物料傳輸系統裝備的國產化,項目合同期內完成了自動物料搬運生產線5條，實現銷售收入1.44億元。該系統的研制成功不僅打破了國外集成電路裝備企業在國內的壟斷地位，降低了晶圓制造企業生產成本，同時推動了我國集成電路裝備產業的發展，并帶動整個裝備制造的產業鏈的發展，加速我國裝備制造業的轉型升級。

下一步，新松公司將在三期產業園，新建超過6000平方米的潔凈車間，用于自動化物料搬運系統及其核心設備產品研發、測試和驗證，進一步提高潔凈產品的產業化能力。